RM1014-MV-苏州联讯仪器股份有限公司

低漏电开关矩阵

RM1014-MV

12输入48输出2000V开关矩阵系统

联讯仪器RM1014-MV 12输入48输出2000 V开关矩阵系统配合S3030F或其他源表可满足半导体高速测试应用。可支持多张开关矩阵子卡（R1014G-MV）扩展通道，具有很高性价比，适合工程应用。支持传统的SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷，可支持多机并联，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。

手册CN

申请样机

特点

多路高压灵活测量
支持2路高压低泄漏电流通道输入
整机支持12 路输入和 48 路输出
高压低泄漏电流
矩阵低泄漏电流小于200pA@2000V
支持快速测量
开关矩阵电流建立时间小于1秒
（1000 V电压输入开始到电流< 1 nA的时间）
高继电器触点寿命
开关寿命大于10^8次
5MHz带宽
优化C-V和DMM通道的传输带宽
最大可达5 MHz@-3 dB
支持2种方式控制
PC上运行上位机GUI软件
通过可编程仪器的标准命令SCPI

功能与优势

设计灵活
支持2路低泄漏电流通道输入，整机支持12路输入和48路输出。
可配合高精密的SMU （如S3030F，S2016C等），泄漏电流小于500fA。

通道技术指标	输入通道数量	2（High Voltage Low Leakage I-V Port） 6（General I-V Port） 2（C-V Port） 2（DMM Port）
	输出通道数量	12/24/36/48
	额定电流 (MAX.)	1 A
	额定电压 (MAX.)	2000V（High Voltage I-V Port, Channel to Ground） 2000V (High Voltage I-V Port, Channel to Channel) 200 V (Channel to Ground) 200 V (Channel to Channel)
	通道导通电阻	0.6 Ω（Low Leakage I-V Port） 1.0 Ω（General I-V Port） 1.0 Ω（C-V, HF Port）
	通道绝缘电阻^[1]	10¹³ Ω（Low Leakage I-V Port） 10¹¹ Ω（General I-V Port） 10⁹ Ω（C-V, HF Port）
典型参数	失调电流	＜1 pA（Low Leakage I-V Port）＜20 pA（General I-V Port）
	通道串扰电容	＜0.4pF/CH
	Guard寄生电容^[2]	＜200 pF (Low Leakage I-V Port) ＜240 pF (General I-V Port）

注释:

[1] 绝缘电阻测试环境：23℃ ± 5℃，5% to 60% RH。

[2] 当主机安装一张子卡，输入输出通道闭合时，端口的Guard寄生电容。

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