序号

型号

名称

描述

1

WAT6300

垂直型高压串行WAT测试机

3500V，1Adc，100nV/1fA，48Pin^[1]，仅支持CHUCK高压以及正面1路高压

2

WAT6310

通用型中压串行WAT测试机

1800V，1Adc.100nV/1fA，48Pin^[1]，通用型

3

WAT6315

通用型中压串行WAT测试机

1800V，1Adc.100nV/1fA，48Pin^[1]  full kelvin，Cable Out，通用型

4

WAT6330

通用型高压串行WAT测试机

3500V，1Adc，100nV/1fA，24Pin，通用型

子类

描述

工作站及系统软件

Win10工作站，ptSemight测试软件

电容表

外购（可选配）：

1fF~100nF测量范围

电压表

外购（可选配）：

7位半以上分辨率

信号分析仪

外购（可选配）：

9K~10M频率范围

垂直型高压开关矩阵（WAT6300）

RM1012-HV（可选配）：

支持2通道低压（200V），1通道高压（3500V），1通道CMU输入，内置CMU的HV-bias可达3000V，两通道高压输出

低压低漏电流开关矩阵（WAT6300）

RM1010-LLC（可选配）：

低漏电流开关矩阵主机，支持14通道输入，最高4张R1010G-LLC子卡插入支持到48通道输出^[1]

R1010G-LLC（可选配）：

低压低漏电流开关矩阵子卡，单张卡12通道输出，200V，1A，<100fA@10V（低漏电流通道）

通用型中压开关矩阵（WAT6310/WAT6315）

RM1014-MV（可选配）：

通用型中压开关矩阵主机，支持12通道输入，支两通道1800V中压输入，最高4张R1014G-MV子卡插入支持到48通道输出^[1]

R1014G-MV（可选配）：

通用型中压开关矩阵子卡，单张卡12通道输出，每通道均支持1800V，1A，<1pA@10V（中压输入通道）

通用型高压开关矩阵（WAT6330）

RM1013-HV（可选配）：

通用型高压开关矩阵主机，支持10通道输入，支两通道3500V高压输入，最高3张R1013G-HV子卡插入支持到24通道输出

R1013G-HV（可选配）：

通用型高压开关矩阵子卡，单张卡8通道输出，每通道均支持3500V，1A，<1pA@10V（高压输入通道）

高压源测量单元（HVSMU）

可选配：

3500V， 120mA， 100uV/10fA（Semight S3030F）

1100V， 1A， 100nV/10fA（商用仪表）

PXIe机箱

适配SMU，SPGU数量的PXIe机箱

源测量单元（SMU）

S2012C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/10fA

S2016C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/1fA

高压脉冲发生单元（SPGU）

S3023P（可选配）：

占位2槽，±40V（Open）， ±20V（50Ω）

测试目标

Si/GaN/SiC等半导体器件的晶圆级WAT测试、WLR测试

测试项目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

频率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流测试

测试仪表

Semight S2012C，S2016C， S3030F， 商用仪表

测试功能

单点，扫描等

测试范围

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C： 1fA to 1A 100nV to 200V

S3030F： 10fA to 120mA  100uV to 3500V

商用仪表MVSMU： 10fA to 1A  100nV to 1000V

电容测试

测试仪表

商用仪表

测试功能

C/G

测试频率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

测试范围

1fF to 100nF

常规直流偏置

±40 V

高压直流偏置

±3000 V

差分电压测试

测试仪表

商用DVM

测试范围

1µV to 100V

高速脉冲信号产生

信号发生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（开路）， ±20V（50Ω负载）

信号频率

0.1Hz to 10MHz

信号脉宽

60ns to （脉冲周期 - 60ns）

信号边沿

20ns（Vamp < 5V， 负载开路）

信号分析

分析仪表

商用仪表

频率范围

9K to 10M Hz

低压低漏电流开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1010-LLC

输出通道

x12， x24， x36， x48

输入接口

最高支持8端口同时输入，其中两端口支持电漏电流输入

最高14端口输入，包含两个四选一端口用于外部仪表的串行测试

垂直型高压开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1012-HV

输出通道

x2

输入接口

最高支持4端口输入，2通道低压（200V），1通道高压（3500V），1通道CMU输入，内置CMU HV-bias可达3000V

通用型高压开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1013-HV

输出通道

x8， x16， x24，CHUCK

输入接口

最高10端口输入，6端口同时输入，包含两个三选一端口用于外部仪表的串行测试，两端口输入电压达3500V

通用型中压开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1014-MV

输出通道

x12， x24， x36，x48

输入接口

最高12端口输入，8端口同时输入，包含两个三选一端口用于外部仪表的串行测试，两端口输入电压达1800V