序号

型号

名称

描述

序号

系统大类

子类

描述

1

并行WAT测试系统机架

系统主机柜

包括机柜，EMO模块，电源分配单元

工作站及系统软件

Win10工作站,ptSemight测试软件

电容表

外购（可选配）：

1fF~100nF测量范围

电压表

外购（可选配）：

7位半以上分辨率

信号分析仪

外购（可选配）：

9K~20M频率范围

PXIe机箱

外购（可选配）：

适配SPGU数量

SPGU

Semight（可选配）：

占位2槽，±40V（开路）, ±20V（50Ω）

2

并行WAT测试系统测试头

测试头主机

包括测试头主机机体，根据输出通道配置Pinboard数量

Pinboard

S2018G（可选配）：

每通道Pinboard包含Perpin SMU与Perpin PGU

Perpin SMU: ±200V，±1A，100nV/1fA

Perpin PGU: ±20V（开路）

外部仪表接口

默认配置：

8通道BNC输入接口

测试目标

Si/GaN/SiC等半导体器件的晶圆级WAT测试、WLR测试

测试项目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

频率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

Perpin直流测试

测试仪表

Semight S2018G

测试功能

单点，扫描等

测试范围

S2018G：1fA to 1A 100nV to 200V

Perpin高速脉冲信号产生

信号发生器

Semight S2018G

信号幅度

±20V（开路）

信号频率

0.1Hz to 5MHz

信号脉宽

100 ns to (脉冲周期 – 100 ns)

信号边沿

<100 ns（典型值50ns）

外部高速脉冲信号产生

信号发生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（开路）, ±20V（50Ω负载）

信号频率

0.1Hz to 10MHz

信号脉宽

60 ns to (脉冲周期 - 60 ns)

信号边沿

20 ns（Vamp < 5V, 负载开路）

电容测试

测试仪表

商用仪表

测试功能

C/G

测试频率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

测试范围

1fF to 100nF

直流偏置

±40 V

差分电压测试

测试仪表

商用仪表

测试范围

1µV to 100V

信号分析

分析仪表

商用仪表

频率范围

9K to 20M Hz