CHUCK

运动平台

材料

铸铁

Chuck X&Y Axis

电机形式

伺服电机

行程 X*Y

≥340mm * 490mm

分辨率

0.1μm

定位精度

±2μm

最高速度

300mm/s

Chuck Z Axis

电机形式

步进电机

行程

80mm

分辨率

0.2μm

定位精度

±2μm

最高速度

30 mm/s

Chuck θ Axis

电机形式

步进电机

行程

±5°

分辨率

0.0000191°

耦合模组

Motion and positioning  

Hexapods + Piezo

6 serial axis +Piezo

Max Number of active axes  

9

9

Rotation for roll, yaw and pitch

Automated

Automated

Stepping for X, Y, Z

Automated

Automated

Rough Positioning

Travel Range X,Y,Z

±17, ±15, ±7 mm

±15, ±15, ±10 mm

Travel Range θX, θY, θZ

±9, ±8.5, ±18°

±6, ±5, ±6°

Minimum Incremental Motion X, Y, Z

±0.10, ±0.10, ±0.05 μm

±0.10, ±0.10, ±0.10 μm

Minimum Incremental Motion θx, θy, θz

0.05mdeg,

0.05mdeg,

0.1mdeg

0.01deg,

0.01deg,

0.01deg

Fine Positioning

Travel range in X, Y, Z, closed loop  

80μm

Min. incremental motion, open-loop  

0.4nm

Min. incremental motion, closed-loop

4nm

Alignment Speed

Scanning time of spiraled area scan

<1.5s

备注

只做垂直耦合仅需选购8轴即可， 需兼容垂直耦合和边缘耦合需选购9轴系统

耦合

指标

光学耦合速度

  <1.5s @单边耦合

耦合重复精度

<0.2dB (30次）

光功率稳定性

<0.2dB@5min