
激光器老化测试
ACBT6208
CoC老化测试一体机
特点

全自动化运行
集鱼骨夹具自动进出料、老化前后测试、高温老化、分Bin下料、蓝膜/Gel-Pak自动进出料于一体,内部闭环流转,可节省50%的占地面积和80%人力成本
模块化架构设计
支持模块快速安装、拆卸、维护及产品切换
高密度并行老化
温度范围25~130 ℃
老化中在线功率监控
支持选配PD组件实现在线功率监控和LIV扫描,测试重复性<1%
高效控温和测试
支持-10℃~100 ℃三温测试,温控精度±0.5 ℃
智能自动上下料
标配 CoC ID 识别与下料自动分拣,单颗下料时间<4.5 s全流程数据追溯
单一系统内统一监控|
参数 |
1代机 - ACBT6208 |
||
|
配置一 |
配置二 |
||
|
模块数量 |
上下料机(套) |
1 |
1 |
|
测试机(套) |
2 |
4 |
|
|
老化单层(层数) |
20 |
16 |
|
|
单个老化单层对应的夹具数量 |
8 |
||
|
驱动板支持通道数 |
48通道/单板 |
||
|
单通道电流大小 |
1A |
||
|
最大支持的通道数量 (DML/EML CoC) |
0~1A |
7680 |
6144 |
|
1~2A |
3840 |
3072 |
|
|
2~3A |
2560 |
2048 |
|
|
序号 |
参数名称 |
参数指标 |
序号 |
参数名称 |
参数指标 |
|
1 |
提篮类型和数量 |
3个蓝膜/Gel-pak提篮 |
6 |
取料方式 |
力控吸嘴 |
|
5个夹具提篮 |
7 |
吸嘴压力 |
35±10g |
||
|
2 |
载盘类型和数量(单个提篮内) |
5个6寸蓝膜/8个2英寸Gel-pak |
8 |
吸嘴丢失率 |
0.1% |
|
8个鱼骨夹具 |
9 |
OCR分辨率 |
5μm,彩色 |
||
|
3 |
Open Check加电预检 |
电流:10mA,电压:1V |
10 |
CoC下料效率 |
4.5s/单颗 |
|
4 |
NG判定:open个数>3pcs(自定义) |
11 |
产品放置精度 |
≤±25μm |
|
|
5 |
吸嘴库支持吸嘴数量 |
3种 |
12 |
产品重复放置角度 |
≤±3° |
|
序号 |
参数名称 |
参数指标 |
序号 |
参数名称 |
参数指标 |
|
1 |
控温方法 |
TEC+水冷 |
11 |
标配源表选型 |
S2011C和S2019C |
|
2 |
热沉温度范围 |
-10℃-100℃ |
12 |
I/V源表测量分辨率 |
±3A/100nA,±6V/1uV |
|
3 |
热沉升降温速度 |
20℃/min |
13 |
Ith 重复性 |
<±1% |
|
4 |
热沉温度设置精度 |
0.1℃ |
14 |
Se 重复性 |
<±2% |
|
5 |
升降温时间 |
180s@任意两个温度点之间 |
15 |
Power 重复性 |
<±1% |
|
6 |
热沉温度设置分辨率 |
0.01℃ |
16 |
Vf 重复性 |
<±2% |
|
7 |
热沉空载温度均匀性 |
±1℃ |
17 |
波长重复性 |
±0.1nm |
|
8 |
热沉温度稳定性 |
±0.5℃ |
18 |
SMSR 重复性 |
5dB |
|
9 |
CoC温度均匀性 |
±3℃@500mA,80℃(加大力针) |
19 |
耦合功率@Pout>25mW |
>-15dBm |
|
10 |
CoC温度稳定性 |
±0.5℃@500mA,80℃(产品自带NTC) |
20 |
电连接性一次成功率 |
>99.7% |
|
序号 |
参数名称 |
参数指标 |
序号 |
参数名称 |
参数指标 |
|
1 |
温控方法 |
TEC+水冷 |
9 |
CoC温度均匀性 |
±3℃@500mA,80℃(加大力针) |
|
2 |
热沉温度范围 |
25-130℃ |
10 |
CoC温度稳定性 |
±0.5℃@500mA,80℃(产品自带NTC) |
|
3 |
热沉升降温速度 |
20℃/min |
11 |
驱动源类型 |
标准电流源 |
|
4 |
热沉温度设置精度 |
0.1℃ |
12 |
驱动电流范围 |
0~1000mA |
|
5 |
热沉温度设置分辨率 |
0.01℃ |
13 |
驱动电流精度 |
0.3% F.S.±0.07mA |
|
6 |
热沉空载温度均匀性 |
±1℃(热沉两头、中间3个点温度均匀性) |
14 |
驱动电流稳定性 |
48小时电流的稳定性:0.3%F.S.±0.07mA |
|
7 |
热沉温度稳定性 |
±0.5℃(热沉两头、中间3个点温度最差稳定性) |
15 |
电流测量分辨率 |
0.07mA |
|
8 |
温度稳定时间 |
300s@80℃ |
16 |
电流输出纹波 |
<0.7% F.S 电阻性负载 |
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