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低漏电开关矩阵

RM1010-LLC

14输入48输出200V开关矩阵系统


联讯仪器RM1010-LLC 4槽型半导体开关矩阵主机配合S3022F台式源表或S2012C 等源表可满足半导体高速测试应用。支持多张开关矩阵子卡(R1010G-LLC)扩展通道,具有很高性价比,适合工程应用。上位机应用软件亦可加快开发新测试功能的开发时间,简化系统集成难度。支持传统的SCPI命令,让测试代码的迁移变得轻松快捷,可支持多机并联,集成到生产测试系统中使用,以提高系统的测试效率并降低成本。

特点

  • 多路灵活测量

    支持2路低泄漏电流通道输入
    整机支持14 路输入和 48 路输出
  • 低泄漏电流

    最低可实现<100fA的泄漏电流
  • 支持快速测量

    微弱电流建立时间小于3.5秒
    (10V电压输入开始到电流< 400fA的时间)
  • 高继电器触点寿命

    开关寿命大于10^8次
  • 10MHz带宽

    优化C-V和HF通道的传输带宽
    降低线路的高频衰减
  • 支持2种方式控制

    PC上运行上位机GUI软件
    通过可编程仪器的标准命令SCPI

功能与优势

  • 设计灵活

    支持2路低泄漏电流通道输入,整机支持14路输入和48路输出。
    可配合高精密的SMU (如S2036H,S2016C等),泄漏电流小于100fA。

通道技术指标



输入通道数量
2(Low Leakage I-V Port)
6(General I-V Port)
2(C-V Port)
2(DMM Port)
2(PGU Port)
输出通道数量 12/24/36/48
额定电流 (MAX.) 1 A
额定电压 (MAX.) 200V(Channel to Ground)
300V (Channel to Channel)


通道导通电阻
0.6 Ω(Low Leakage I-V Port)
1.0 Ω(General I-V Port)
1.0 Ω(C-V, HF Port)


通道绝缘电阻[1]
1013 Ω(Low Leakage I-V Port)
1012 Ω(General I-V Port)
109 Ω(C-V, HF Port)

典型参数

失调电流 <100fA(Low Leakage I-V Port)
<1000pA(General I-V Port)


失调电压
<80μV(Low Leakage I-V Port)
<110μV(General I-V Port)
<110μV(C-V, HF Port)
通道串扰电容 <0.3pF/CH

注释:
 [1] 绝缘电阻测试环境:23℃ ± 5℃, 5% to 60% RH。



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