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半导体可靠性

PLR0010

封装级可靠性测试设备


联讯仪器PLR0010封装级可靠性测试设备是一款基于JEDEC可靠性测试标准设计开发的可靠性测试设备,主要用于TDDB/HCI/BTI/GOI等功能的测试。测试系统温度高达250℃,同时通过算法模型对数据进行分析,实现对产品制程工艺缺陷的分析。系统的每个通道配备了独立的过流保护功能,可确保被测器件的安全,同时可与客户EAP系统对接,实现生产数据的管理,以便用户进行深入的性能分析和质量控制。

特点

  • 多测试模式

    支持TDDB/HCI/BTI/GOI
  • 独立Oven架构

    具有4个独立Oven
  • 高温测试

    Oven温度高达250°C
    温度均匀性±1%°C
  • 高并行测试

    支持960 DUT board同时并行测试
  • 支持On-the-fly

    stress切换至monitor ~220 μs
  • 自研SMU

    SMU支持自动量程切换
    确保高精度测量
  • 灵活的API接口

    客户可根据需求进行算法、测试流程
    及数据导出的格式进行编辑
参数 指标
温度范围 Room~250℃
并测DUT 960
温箱
支持4个独立温箱
工作海拔 0~2000m
电磁兼容 满足欧盟EMC标准
软件系统 Windows LTSC
软件语言环境 C#/C++
软件功能 测试任务编辑和设置,数据显示和数据分析,MES接口,用户权限管控,校准维护,故障诊断

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