
半导体可靠性
PLR0010
封装级可靠性测试设备
特点

多测试模式
支持TDDB/HCI/BTI/GOI
独立Oven架构
具有4个独立Oven
高温测试
Oven温度高达250°C
高并行测试
支持960 DUT board同时并行测试
支持On-the-fly
stress切换至monitor ~220 μs
自研SMU
SMU支持自动量程切换
灵活的API接口
客户可根据需求进行算法、测试流程| 参数 | 指标 |
| 温度范围 | Room~250℃ |
| 并测DUT | 960 |
| 温箱 | 支持4个独立温箱 |
| 工作海拔 | 0~2000m |
| 电磁兼容 | 满足欧盟EMC标准 |
| 软件系统 | Windows LTSC |
| 软件语言环境 | C#/C++ |
| 软件功能 | 测试任务编辑和设置,数据显示和数据分析,MES接口,用户权限管控,校准维护,故障诊断 |
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