联讯仪器SA8000, 半导体器件参数分析仪-苏州联讯仪器股份有限公司

特点

高端测试平台
亚飞安级电流分辨率
极致微弱电流探测
0.1 fA（10^-16 A）的电流测量分辨率
全集成多维度测试能力
灵活组合直流IV、CV及快速脉冲测量单元
无需编程的Quick Test模式
快速测试器件的特性曲线或关键参数

功能与优势

全功能/高精度测试测量
HPSMU 源测量分辨率（100nV/1fA）
HRSMU 源测量精度（100nV/0.1fA）
HV-SPGU 超快速脉冲和瞬态IV测量 (Rise/Fall time, 20ns)
WGFMU 复杂波形的生成(ALWG)及快速测量(Fast I/V, 500MSa/s)
MFCMU 多频率电容测量(10MHz)
SemiExpert专业软件
支持开关矩阵（Switch）
支持探针台(Prober)
开放的算法库 (Python)
实时图表绘制 (Chart)

可选模块

模块	模块名称	占用槽位	测试项目	主要指标
S2016C-SA	High Power Source Measure Unit	1	DC I-V Pulsed I-V	电压最高 200 V / 电流 1 A (脉冲模式可达 3 A) 最小分辨率：1 fA / 100 nV
S2017C-SA	High Resolution Source Measure Unit	1	DC I-V Pulsed I-V	电压最高 200 V / 电流 1 A 最小分辨率：1 fA / 100 nV 可选配前置单元支持 0.1 fA 及 IV/CV 切换
Z4005C-SA	Multi-Frequency Capacitance Measurement Unit	2	AC Impedance C-V, C-f, C-t	频率范围：20 Hz 至 10 MHz 内置 ±40 V 直流偏置
S3023P-SA	Semiconductor Pulse Generator Unit	2	2-Level/3-Level Pulse ALWG	高压输出高达 ±40 V 最小脉冲宽度：20 ns
S3033C-SA	Waveform Generator and Fast Measurement Unit	3	PG/Fast IV ALWG Transient Waveform Capture	波形生成编程分辨率：2 ns 500 MSa/s 同步高速测量 20 V 峰峰值输出

典型应用

类别	应用测试
CMOS 晶体管	Id-Vg, Id-Vd, Vth, Breakdown, Capacitance, Self-heating reduction, etc.
双极结型晶体管 (BJT)	Ic-Vc, Diode, Gummel plot, Breakdown, hFE, Capacitance, etc.
分立器件	Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Diode, etc.
存储器	Vth, Capacitance, Endurance test, etc.
功率器件	Pulsed Id-Vg, Pulsed Id-Vd, Breakdown, etc.
纳米器件	Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, etc.
可靠性测试	NBTI/PBTI, Charge pumping, Electromigration, Hot Carrier Injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB, etc.

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