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脉冲源

S3023P

PXIe模块化脉冲电压源



讯仪器S3023P 是PXIe插卡式单通道高压功率器件测试脉冲源,能够输出±40 V的高压脉冲源,提供最快20 ns(Vamp < 10 V)的边沿时间,可满足器件高速测试应用。S3023P支持传统的SCPI命令,让测试代码的迁移变得轻松快捷,可支持多机并联、多机同步,集成到生产测试系统中使用,以提高系统的测试效率并降低成本。


特点

  • 高电压范围

    ±40V,满足NVM测试技术条件
  • 高电压变化率

    1000V/µs
    可产生较快边沿的高压脉冲源
  • PXIe接口

    可适配标准PXIe接口的机箱,轻松实现多通道扩展
    便于与其他PXIe接口仪表设备共享机箱集成,构成便捷的半导体测试设备
  • 多电平脉冲

    支持输出两电平脉冲、三电平脉冲
    可以实现多脉冲组合,满足半导体测试对多电平脉冲需求
  • ALWG功能

    支持用户基于CSV的文本编辑
    输出任意线性波形信号



技术指标

  • 软件功能:

    GUI非常直观和简洁,可轻松配置通道的输出电压波形的设置。


脉冲参数指标

参数名称

指标

频率范围

0.1 Hz ~ 33 MHz

脉冲周期

可编程范围

20 ns ~ 10 s

分辨率

10 ns

最小值

100 ns ( Vamp ≤ 10 V)

精度

±1%

脉冲宽度

可编程范围

10 ns ~ (脉冲周期 - 10 ns)

分辨率

2.5 ns (Tr and Tf ≤ 8 µs)

10 ns (Tr or Tf ≥ 8 µs)

最小值

50 ns (Vamp ≤ 10 V,20 ns典型值)

精度

± (3% + 2.5 ns)

上升/下降沿时间[3]

(Tr/Tf)

可编程范围

8 ns ~ 400 ms

分辨率

2.5 ns (Tr and Tf ≤ 8 µs)

8 ns (Tr or Tf > 8 µs)

最小值[4]

20 ns (Vamp ≤ 10 V)

30 ns (Vamp ≤ 20 V)

60 ns (Vamp > 20 V)

精度

± (5% + 10 ns) (Vamp ≤ 10 V)

± (5% + 20 ns) (Vamp ≤ 20 V)

输出Relay切换时间(开/关)

≤ 100 μs

[3]输出脉冲幅度(Vamp)从10%上升到90%或从90%下降到10%所需的时间。

[4]可应用的定时精度最小值。


补充指标

参数名称

指标

脉冲宽度抖动

0.001% + 250 ps

脉冲周期抖动

0.001% + 250 ps

最大电压变化率

1000 V/µs (50 Ω)

输出噪声

15 mVrms (DC OUT)

输出电压监测精度

± (0.1% + 25 mV) / 1 PLC (OPEN)

输出电压监测分辨率

50 μV

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