半导体参数分析仪

S3033C - SA

PXIe模块化波形发生器及快速测量单元

联讯仪器S3033C 是结构紧凑、经济高效，三卡槽的双通道PXIe模块化波形发生器及快速测量单元，能够同时测量电压和电流，提供最大20 Vpp、±100 mA的输出，支持传统的SMU SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷，支持现有主流的PXIe机箱，集成度高，方便扩展多通道并可支持多卡同步，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。

申请样机

特点

任意线性波形生成
支持任意波形编辑和生成
最高测量分辨率
0.13 nA (1 μA range)
680 μV (-5 V to +5 V range)
高速输出及高速测量
最小电压输出脉宽100 ns（20 V）
最小电流测量脉宽180 ns（100 mA）
最大量程
-10 V~+10 V & -20 V~0 V & 0 V~+20 V、±100 mA
双通道输出/测量
快速电流、电压测量
支持电流（I）、电压（V）的快速测量和测量时序参数的精确设定
多重保护
过温保护：当检测到内部温度过高时，关断系统电源
过流过压保护：当发生时板卡亮红灯，发硬件复位命令或断电重启，可恢复操作，板卡灯不亮可能硬件损坏

电压、电流输出及测量指标

电压输出	精度	± (0.1% × 设定值 + 0.1% × 量程)^[1]
	分辨率
		96 μV (-3 V to +3 V量程)
		160 μV (-5 V to +5 V量程)
		350 μV (-10 V to +10 V & -20 V to 0 V & 0 V to +20 V量程)
	过冲/下冲	± (5% + 20 mV)
	噪声	最大2 mVrms (-10 V to +10 V量程)^[2]
电压测量	精度	± (0.1% × 电压值 + 0.1% × 量程)^[3]
	分辨率
		680 μV (-5 V to +5 V量程)
		1.4 mV (-10 V to +10 V量程)
		2.8 mV (-20 V to 0 V & 0 V to +20 V量程)
	噪声	最大4 mVrms (-10 V to +10 V量程)^[4]
电流测量	精度	± (0.1% × 电流值 + 0.2% × 量程)^[3]
	分辨率	0.014%量程
	噪声（有效分辨率）	最大6 nArms (1 μA量程)^[4]


时序精度	上升时间 (10% to 90%)	-5% to (+5% + 10 ns) × 设定值
	下降时间 (90% to 10%)	-5% to (+5% + 10 ns) × 设定值
	脉冲周期	±1% × 设定值
	脉冲宽度	± (3% + 2 ns)

【1】直流恒压输出，负载阻抗 ≧ 1 MΩ，脉冲发生器模式或快速电流、电压测量模式。

【2】直流恒压0 V输出，采样率为250 MSa/s，空载，观测时间为20 μs的均方根值。

【3】直流恒压输出，采样率为250 MSa/s，平均值样本数量为10000个，所有量程。

【4】直流恒压0 V输出，采样率为250 MSa/s，空载，测量时间为20 μs的均方根值。

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